适用VUV~UV
高分辨率光谱仪

高密度刻线是通过进一步提升传统全息技术,实现了3000 ~ 5000条/mm高密度光栅刻线的一款衍射光栅,具有低杂散光且高分辨率的性能,可适用于真空紫外、紫外区域的高分辨率的光谱仪。
特点
- 提升原有工艺方法后实现了高密度刻线加工,从而实现了高分辨率的性能要求。
- 全息曝光的制作工艺,与机械刻线加工的光栅相比,可减少因周期误差引起的杂散光,是一款低杂散光的光栅。
- 安博(中国)独有的复制技术,可提供高品质的光栅产品。
- 可根据客户要求,接受各种规格的非标定制。
最终用途
- 分光光度計
- 发光分析装置
- 半导体制造・检测装置
标准规格
| 制品编号(C/N) | 498-016-601L-MG | 434-026-601L | 
|---|---|---|
| 刻线数 (条/mm) | 4984 | 4342 | 
| 波长范围 (nm) ※1 | 118~360 | 190~400 | 
| 相对衍射效率 (+1阶光,无偏光,littrow配置 | 20%以上 (波长220nm) | 28%以上 (波长260nm) | 
| 镀膜※2 | Al+MgF2 | Al | 
| 类别 | 等间隔直线刻线复制型光栅※3 | |
| 基底材质※2 | 碱玻璃(Soda glass) | |
| 外形尺寸(mm) ※2 | 60±0.2(W)×60±0.2(H)×11.3±0.5(T) | |
| 有效范围 | 除外形周边2mm 的区域 | |
| 刻线数公差 | ±0.2% | |
| 划痕 | 80-50 (依据MIL-O-13830A) | |
※1 使用波长为参考值,并非保证值。
※2 可根据客户要求非标定制
※3 光栅刻线是在树脂上加工形成的。
结露是造成光学特性显著劣化的重要原因,应避免结露
如有外观以及规格的变化,恕不另行通知。
相对衍射效率(+1阶光,无偏光,littrow 光路配置)例
 
波长
※ 数据为参考值,非保证值
外形图   第三角投影法 
   

※如有外观以及规格的变化,恕不另行通知。





